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產品展示:超高真空蒸發鍍膜裝置
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超高真空蒸發鍍膜裝置
更新時間:2015-6-15

蒸發鍍膜裝置

蒸發鍍膜裝置

蒸發鍍膜裝置

 

產品簡介:

  轉動升降樣品臺
  轉動升降樣品臺特點:
  為超高真空蒸發鍍膜裝置設計的轉動升降樣品臺可以準確、方便的更換掩膜板,鍍制各種圖案的薄膜,如有機發光材料薄膜等。
  1、進口焊接波紋管密封性好,上下位移輕便準確,精度可達0.1mm,保證在真空條件下,通過真空室外機械手準確取送、更換掩膜板。
  2、樣品尺寸最長100×100,可以裝多種樣品,電動轉動10~30轉/分可調,保證鍍膜均勻性。
  3、配有手動擋板,開閉方便,保證鍍膜精確。
  蒸發鍍膜裝置主要用途:
  本裝置用于實驗室制備薄膜材料,可提供一個超高真空環境蒸鍍金屬材料金、銀、鉻、鋁等。特別適用于蒸鍍有機發光材料薄膜。
主要技術指標:
  1、蒸發室尺寸:ø320×360,雙層水冷。
  2、極限真空度:采用分子泵機組并具有旁抽功能。
  極限真空:5×10-6pa。
  3、樣品尺寸:100×100,電動自轉。轉速可調。蒸距±20mm可調。
  4、三組陶瓷封接水冷蒸發電極,200A/組,12V,每組具有擋板和隔板,防止交叉污染。
  5、一臺蒸發電源,手動切換至每個蒸發源。
  6、具有膜厚監測功能配兩個探頭。
  7、總功率:5KW。
特點:
  1、分子泵無污染真空系統,金屬波紋管真空管路及進口真空卡箍等器件保證潔凈的蒸鍍環境,成膜質量高。
  2、功能齊全,樣品可升降,旋轉,成膜均勻性好。
  4個蒸發源均配制各種檔板,可單蒸,共蒸制備各種膜。
  配備各種掩膜板,可蒸鍍各種圖案膜。
  3、電動升降轉動上蓋,更換樣品及膜材方便可靠。
  4、前置蒸發電極滑板鎖緊機構切換,接觸性好,操作簡便。
  5、膜厚探頭,可控膜厚,適用多層膜蒸鍍。

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