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為中山大學研制的超高真空場發射陰極特性測試系統
更新時間:2016-3-2

為中山大學研制的超高真空場發射陰極特性測試系統

為中山大學研制的超高真空場發射陰極特性測試系統

圖一:電泳沉積石墨烯薄膜的場發射特性曲線及形貌圖

電泳沉積石墨烯薄膜的場發射特性曲線及形貌圖

圖二:電泳沉積碳納米管薄膜的場發射特性曲線

電泳沉積碳納米管薄膜的場發射特性曲線

圖三:離子束濺射類金剛石薄膜的場發射特性曲線

離子束濺射類金剛石薄膜的場發射特性曲線

主要用途:

用于各種材料和納米結構的場發射性能的系統檢測與分析,能夠詳細分析材料的開啟電場、閾值電壓及其場發射穩定性等相關性能參數。本公司長期為國際國內知名大學和科研院所(如清華大學、中山大學和中科院金屬所等)從事材料研究領域的科研人員研發此設備,積累了多年的成功研發經驗,具備了依據客戶的特殊要求量身訂做此設備的研發能力。

結構特點:

  1. 設備分樣品送遞室和測量室,可避免系統真空的破壞,操作便捷,省時;
  2. 極限真空可達10-7Pa,保證測試的可靠性。
  3. 系統可對樣品加溫,實現室溫至600°C不同溫度下的場發射特性測試;
  4. 電極距離由螺旋測微器精確調整;
  5. 測試過程數據采集實現自動化,可長時間測量,便于壽命檢測;
  6. 測試儀表為美國進口,穩定性及可靠性高。

技術指標:

  1. 系統極限真空度:i)超高室:優于8×10-9Pa;ii)預處理室:8×10-9Pa;預處理室具有旁抽功能,檢測系統:精度可達0.001-0.01mm,5分鐘即可從大氣進入超高真空狀態。
  2. 能夠實現高溫條件下材料的電子發射性能的檢測與分析,溫度控制范圍:室溫-500°C;控溫精度:±1°C.
  3. 配有離子槍處理樣品功能,數顯真空測量計,配有玻璃觀察窗,可一次打印出IT、IV曲線。
  4. 變溫樣品臺:液氮溫度-196°C-500°C;樣品尺寸:1cm×1cm;場發射測試樣品臺耐壓:10KV(進口)。
  5. 電子轟擊源:能量10keV,束流可達1mA(進口)
  6. 離子轟擊源:能量0-800eV,束流可達0-80mA
  7. 等離子體發生器:射頻電源功率500W,置于預處理室內
  8. 紫外光源:波長365±2 mm,光斑尺寸:3×3mm,中心功率峰值:4500MW/cm2
  9. 可見光源:氙燈500W,穩定度≤1%,光斑直徑50mm
  10. 氣路:質量流量計控制,調節范圍:50Pa-10-7Pa

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